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半导体设备减振 晶圆检测减振 AOI检测减振

精密气浮式减振器能够为测量设备、光学检测设备、半导体检测设备、超精密加工设备提供极低频率下的减振功能。

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品牌:贝尔金型号:BK-PA别名:薄膜式空气弹簧

半导体设备减振 晶圆检测减振 AOI检测减振详细介绍

橡胶空气弹簧工作时,压缩空气通过水平调节气阀进入气缸内,形成一个压缩空气气柱。依靠橡胶薄膜气囊中的压缩空气的压力变化取得隔振效果,其工作固有频率低,共振阻力性能好,响应灵敏。

空气弹簧带有附加气室以降低垂直刚度,并在空气弹簧本体和附加气室之间设置节流孔提供阻尼。当空气弹簧受到激扰而产生的变形时,节流孔两侧将产生压力差,压缩空气流过节流孔时,将受到局部阻力作用而产生阻尼,吸收一部分能量,因而抑制共振,使其保持稳定。




带水平控制系统的空气弹簧隔振装置为一种主动隔振系统会始终保持机器或平台的水平,自动进行水平调整。空气弹簧中的压力可根据负载变化通过内部放气或者充气进行适当调节,在任何情况下都可以保持良好的隔振效果。




气体弹簧隔振装置由一个铸铝本体组成,其空气室被一层薄壁柔性隔膜包围。柱塞在隔膜上,并被推入空气式。这种设计具有很高的隔振效果。为了获得尽可能高的阻尼效果,空气位置划分为两个气室(承载/阻尼室)通过一根空气管连接。通过调节阀可以方便从外部对阻尼进行调节。

由于空气流过旁通阀产生的摩擦现象,可创造至多25%的阻尼可能会受到影响,增加的安全阀会保护滚柱隔膜,避免被过度充气所损坏。


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